第三代半导体工业是现代社会继续健康开展的柱石,在光电子、大功率器材和高频微波器材等使用方面有着宽广的远景,但随之而来的热效应却严峻限制其功能,热量堆积无法敏捷散失导致部分器材功能仅能发挥10%,影响器材稳定性。
本专利针对半导体“热门”问题,发明性地选用高导热高绝缘金刚石散热,处理了金刚石浸润性差难以直接和半导体晶圆衔接的问题,为暖流分散发明新通路,完成超高暖流密度组件高效散热,器材功率密度显着提高,有用提高其功能、寿数及稳定性,助力第三代半导体的推广使用。
现在,获奖专利已成功使用于GaN基雷达组件、智能芯片等高暖流使用场景,未来商场开展的潜力宽广。并与相关单位做产学研联合开发,完成了本发明专利效果的产出,加快了本发明专利的工业化进程,也为新一代金刚石资料工业高水平质量的开展奠定根底。