半导体专用温控设备（Chiller）大多数都用在半导体制程中对反响腔室温度的精准操控，主要由热交换器、循环泵、压缩机和操控办理体系构成的一个自我平衡的循环设备，归于出产的悉数过程中的温控设备。在惯例PID操控算法的基础上加入了猜测操控技能和自适应操控技能，并选用变频操控及两级闭环节能操控，显著地提高了Chiller的稳定性、操控精度和响应速度。

  应用于半导体职业蚀刻设备，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精细设备、 高精度测验仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

  激光加工、印刷设备、清洁设备、焊接设备、高分析仪、LCD制作设备、模具温调、高频感应加热设备、X射线（数字式）设备等

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